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      北京艾爾利達——中國靜電控制專業公司

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      trek5

      trek5
               TREK靜電卡盤電源擁有卓越的性能及強大通用性,可用于多種特有的工具/工藝,而不需要為每種不同的工具/工藝選配一種新電源。并內置抓取晶片檢測功能(臨界值可通過程序設置):指明晶片抓取事件,由低壓正弦波產生的電容性電流,在相位A及相位B輸出上疊加合成,可被監測但是也可通過程序設置禁用。疊加波形用于指示無晶片,有晶片,或晶片夾緊狀態。
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